样品 暴针 反馈电路 具有原子级高分辨率 x方向02mm 分辨率2方向005m在原子尺度探测 在大气压下或真空中均能工作, 无损探测,可获取物质表面的三维图像, 可进行表面结构研究,实现表面纳米(0°m)级加工分辨率 xy方向 0.2nm z 方向 0.005nm 在原子尺度探测 ➢ 具有原子级高分辨率 ➢ 在大气压下或真空中均能工作, ➢ 无损探测 ，可获取物质表面的三维图像， ➢ 可进行表面结构研究, 实现表面纳米( ) 10−9 m 级加工 U z