磁敏金属材料 /986 2.各向异性磁阻效应 薄膜磁阻效应元件 就通常使用的Ni-20wt%Fe合金 电极 Ni-20%Fe (坡莫合金)薄膜而言，膜厚 薄膜 为30~300nm,w和1因目的而 异，但w为数十微米，1从数十 (a)剖面 微米到几毫米。 I(1/M) 磁阻响应率 个 -货 外磁场 电流 薄膜元件还是体材元件？ (b)平面 电子科技大学敏感材料与传感器课程组 制帽I(//M i) ( a ) 剖 面 (b ) 平 面 电 流 外 磁 场  M I(//M i) 电 极 N i-2 0 % F e 薄 膜 绝 缘 衬 底 （ a） 剖 面 （ b ） 平 面 电 流 外 磁 场 M  l 薄膜磁阻效应元件 薄膜元件还是体材元件？ 就通常使用的Ni-20wt%Fe合金 （坡莫合金）薄膜而言，膜厚 为30～300nm，w和l因目的而 异，但w为数十微米，l从数十 微米到几毫米。 一 、磁敏金属材料 2. 各向异性磁阻效应 2 0 1 1 He l V i wt H                                    磁阻响应率