经磁控溅射后的薄膜的化学成分与靶材的 45 化学成分相同，这已被很多实验所证实。比较 10 表8和表2的Ic。、R数据可知，在0.5mol/L HzSO,溶液中，与靶材相同成分未经热处理的 10 薄膜，其耐蚀性比靶材要好。这主要是由于它们 的组织结构不同而引起的，将在下面分析。 10 T2 2,2循环极化曲线 10- 对经热处理(R2、R3、R4)和未经热处理的 00.10.5 1.0 (F2、F3、F4)澱射薄膜，测量了其在0.5mo1/L H2S04, H,S0,中的循环极化曲线（以R3、F3为代图1宽地花与H,S0,旅度（核坠标x0.5mo1/L)的关系 Fig.I Relation between corrosion current 表，表示在图2中)。 and H2SO4 concentration 在图2中，E。是击穿电势，E。越正，对点蚀的耐蚀性和氧化介质的抵抗力越强，E。为 再钝化电势，这个值越小（越负），对缝隙腐蚀和点蚀的敏感性就越高，电势差E。一ER值 越小，已发生的腐蚀穿透率就越低，耐点蚀性就越好。电势荣E。~E,值越大，表示纯化 区范围宽，耐蚀性好。 循环极化曲线显示出，薄膜的E。一E值都很小，表明耐点蚀性都很好，并易于再纯 化。其中尤以2*和3薄膜耐点蚀性为最佳。因为2·和3·薄膜含有钼和铜。钼能提高抗 点蚀能力，这是因为在足够高的铬（含C20%以上）的配合下，表面上除生成含Cr的致密 的氧化膜外，膜中还固溶有对酸稳定性好的Mo+,C和Mo的相互作用使耐蚀能力大大增 强。铜起了活性阴极作用，阻滞阳极过程，促使合金产生阳极钝化。 1,2 6) 1.0 0.8 0. 0.6 3 0.2 Q. 0.0 0.2 Ie-5 3 -2 log I (tA.cm2) 图23·薄模的循环极化曲我 Fig.2 Cyclic Polarization curves of 3 film 将经过热处理（图2中的R图）和未经热处理（图2中的F图）的薄膜循环极化曲线 相比较，还可以看到：(1)经热处理后，EP-E。,值（钝化区）比较大，曲线较平直，阳极 钝化得好。(2)经热处理后，极化电流Ip(EP点对应的电流)值比较小，从图上读出Ip值 如下： 22肉代任。记 经磁控溅射后的薄膜的化学成分与靶材 的 化 学成分相同 ， 这 已被很 多实验所证实 。 比较 表 和 表 的 。 、 尸， 数据可 知 ， 在 溶液中 ， 与靶 材相 同成 分未经 热 处 理 的 薄膜 ， 其耐蚀性 比靶材要好 。 这 主要 是由于 它 们 的组 织结 构不 同而 引起 的 ， 将在 下面 分析 。 套 岁 循 环极化 曲 线 对经 热处 理 、 、 和未经 热处 理 的 、 、 溅 射薄膜 ， 测量 了其在 。 ‘ 中的循环 极化 曲线 以 、 为代 表 ， 表示在 图 中 。 一一一一 导 尸一一一甲一 一 一 一口口户叫 卜一 ‘ 呀，】 一一 日 州 扮产 土一一二。 卜一 一 一 一 ‘ 异 ， 图 腐 蚀 电流 与 浓度 横坐标 。 。 的关 系 ‘ 在 图 中 ， ， 是击穿 电势 ， ， 越 正 ， 对 点蚀 的耐 蚀性和氧化 介质 的抵 抗力越 强 ， 为 再钝化 电势 ， 这个值越小 越负 ， 对 缝隙腐蚀和 点蚀 的敏感性 就越高 电势差 ， 一 ， 值 越 小 ， 已发 生 的腐蚀 穿透率就越低 ， 耐 点蚀性 就越 好 。 电势 差 ， 一 。 。 ， ， 值越 大 ， 表示钝化 区范 围宽 ， 耐蚀性 好 。 循环 极 化 曲线 显 示 出 ， 薄膜的 ， 一 ， 值 都很 小 ， 表明 耐点蚀性都很 好 ， 并 易 于 再 钝 化 。 其中尤以 和 华 薄膜耐 点蚀性 为最佳 。 因为 毋 和 希 薄膜含有 铂和 铜 。 铂 能 提 高 抗 点蚀能 力 ， 这是 因为在足 够 高的铬 含 写以 上 的配 合 下 ， 表 面 上除生 成含 的 致密 的氧化膜 外 ， 膜 中还 固溶 有对酸 稳定性好的 ‘ ， 和 的 相互 作 用 使耐蚀能 力大大增 强 。 铜起 了 活性 阴极 作 用 ， 阻 滞阳极过 程 ， 促 使 合金产生阳 极钝 化 。 咦只月︸ … 月门︺， 门 《 叫‘ 一 ， 护口碑口 一训沪 一 护沪护 肚匕 一气 ’ … 一 一 ， 从 ， 一 厂 一 一 一 厄巴、 己二二二二导肾之 创尸 匕 。 ， 可 、 一 人 。 众 一 一 山 肠店 了一 ， ﹄ 钊 。 幸门典的 佩环 极 化曲 线 ， 将经过 热处 理 图 中的 图 和 未经 热 处 理 图 中的 图 的 薄膜 循环 极化 曲 线 相 比较 ， 还可 以 看到 经 热处 理后 ， ， 一 。 。 值 钝化 区 比较 大 ， 曲 线较 平直 ， 阳 极 钝化 得 好 。 经 热处 理 后 ， 极化 电流 ， ， 点 对应 的电流 值 比较 小 ， 从 图上读 出 ， 位 如 下