内容 6.1概述 ÷62离子注入原理 ÷63注入离子在靶中的分布 ÷6.4注入损伤 65退火 6.6离子注入设备与工艺 67离子注入的其它应用内容 v 6.1 概述 v 6.2离子注入原理 v 6.3注入离子在靶中的分布 v 6.4注入损伤 v 6.5退火 v 6.6离子注入设备与工艺 v 6.7离子注入的其它应用