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二、知识储备 传感器技术应用 (四)压力传感器的工作原理 2.扩散硅压力传感器的工作原理 扩散硅压力传感器是基于压阻效应原理,被测介质的压力直接作用于传 感器的不锈钢膜片或陶瓷膜片上,使膜片产生与介质压力成正比的微位移,并 使传感器的电阻值发生变化,再转换输出一个对应于这一压力的标准测量信 号。 二、知识储备 传感器技术应用 (四)压力传感器的工作原理 2.扩散硅压力传感器的工作原理 扩散硅压力传感器是基于压阻效应原理,被测介质的压力直接作用于传 感器的不锈钢膜片或陶瓷膜片上,使膜片产生与介质压力成正比的微位移,并 使传感器的电阻值发生变化,再转换输出一个对应于这一压力的标准测量信 号
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