微型机械装置的性能分析 方程 -弹性机械动力学,静电学,斯托克司流 近来发展 -快速积分方程求解器,耦合域问题的隐式矩阵多层 牛顿法 SMA-HPC 2003 MIT微型机械装置的性能分析 方程 ——弹性机械动力学，静电学，斯托克司流 近来发展 ——快速积分方程求解器，耦合域问题的隐式矩阵多层 牛顿法 SMA-HPC ©2003 MIT