介绍两种:电阻式和 MOSFET气体传感器 电阻式气敏传感器 1原理 半导体材料(如SnO2)表面吸附某些气体射, 其导电率随气体浓度变化而变化。 ■例:Sn2多晶硅(N型),内部电阻值等效 为三种电阻串联: Rn晶粒间的晶间电阻 Rs单个晶粒表面电阻厂Rn>Rs ■Rb单个晶粒的体电阻,不随表面气体变化介绍两种：电阻式和MOSFET气体传感器 一、电阻式气敏传感器 1.原理 半导体材料(如SnO2)表面吸附某些气体时， 其导电率随气体浓度变化而变化。 例：SnO2多晶硅（N型），内部电阻值等效 为三种电阻串联： Rn—晶粒间的晶间电阻 Rs—单个晶粒表面电阻 Rb—单个晶粒的体电阻，不随表面气体变化 Rn>> Rs