。粗真空 1.013×105~1.333×103Pa 。低真空 1.333×103~1.333×10-Pa 。高真空 1.333×101~1.333×106Pa ·超高真空 1.333×10-6~1.333×10-10Pa 。极高真空 <1.333×10-10Pa⚫ 粗真空 ⚫ 低真空 ⚫ ⚫ 高真空 ⚫ 超高真空 ⚫ 极高真空 Pa 5 3 101310 ~ 133310 Pa 3 1 1 333 10 ~ 1 333 10−     Pa 1 6 1 333 10 ~ 1 333 10 − −     Pa 6 1 0 1 333 10 ~ 1 333 10 − −     Pa 10 1 333 10−   