3.2压力传感器 2.电容式压力传感器 采用变电容测量原理，将由被测压力引起的弹性元件的位移变形转变为电 容的变化，测出电容量便可知道被测压力的大小。 C= 8A d ￡为电容极板间介质的介电常数，A为两平行板相对面积，d为两平行板间距 测量范围在10~10000mmH20,精度在0.2%左右。 3.压阻式压力传感器 连接 电環战 正输入N 固体受力后电阻率发生变化的 负输入-N) 现象称为压阻效应。 负缩入一N奶 自（绿）线 正输出(OUT 红线 特点是：灵敏度高，频率响应高： 负输出（仁UT 测量范围宽，精度高，工作可靠。 图3.4MPM380系列压阻式压力传感番的电路接线图 第3章机电系统中的传感器技术 11 第3章 机电系统中的传感器技术 11 3.2 压力传感器 2.电容式压力传感器 采用变电容测量原理，将由被测压力引起的弹性元件的位移变形转变为电 容的变化，测出电容量便可知道被测压力的大小。 A C d  =  为电容极板间介质的介电常数，A为两平行板相对面积，d为两平行板间距 测量范围在10~10000mmH2O,精度在0.2%左右。 3.压阻式压力传感器 固体受力后电阻率发生变化的 现象称为压阻效应。 特点是：灵敏度高，频率响应高； 测量范围宽，精度高，工作可靠