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三、非制冷红外探测器 /986 2.非制冷红外焦平面阵列技术 (2) 热探测工作原理C、热电堆红外探测器 ◆在热电堆中,热电偶以薄膜的形式淀积在热绝缘衬底上,温差信号电 压Vs下式给出 Vs=N(S1-S2)△T 式中,S,和S2是热电偶材料的Seebeck系数,二者之差叫做结的热电温差功率( 热电功率);热结在像元的热绝缘部分,而冷结则在周围衬底(相当于热沉)上 ◆代入温差表达式,热电堆像元的响应率R为: R= W(S1-S2) G(1+w2r2)2 式中,门是光学吸收系数,而 C/G 电子科技大学敏感材料与传感器课程组制作三、非制冷红外探测器 2.非制冷红外焦平面阵列技术 (2) 热探测工作原理 C、热电堆红外探测器 u 在热电堆中,热电偶以薄膜的形式淀积在热绝缘衬底上,温差信号电 压 Vs下式给出 式中, S1和 S2 是热电偶材料的Seebeck 系数 ,二者之差叫做结的热电温差功率( 热电功率);热结在像元的热绝缘部分,而冷结则在周围衬底(相当于热沉)上 式中,η是光学吸收系数,而 u代入温差表达式,热电堆像元的响应率 R 为:
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