|模块四:进给伺服系统 GDGM 单元二位置检测装置 四、光栅 光源 标尺光栅 光敏元件 O El 图4-12光栅位置检测装置 光通量变化 指示光尺标尺光栅 灯泡透镜 光电元件 g 光电元件输出 整形输出 读数头 位移S 图4-13透射直线式光栅原理图 GDGM 2005 2005GDGM机电模块四：进给伺服系统 15 GDGM 2005 © 2005 GDGM 机电 单元二 位置检测装置 Exit 四、光栅 驱 动 线 路 光源 透镜 标尺光栅 光敏元件 指示光栅 图4-12 光栅位置检测装置 灯泡 透镜 指示光尺 标尺光栅 光电元件 读数头 W 位移S 位移S 位移S 脉冲输出 位移S 整形输出 光电元件输出 光通量变化 图4-13 透射直线式光栅原理图