52陶瓷材料的加工 绝热衬层 耐火垫块 523热压 热压与冷压烧结SiN4的性能比较 瓷材料的加 52陶瓷材料的加工52.4化学加工法 52陶瓷材料的加工5.4化学加工法 5241溶胶凝胶法 胶体粒子间的凝聚 瓷粉末 粘合剂 分散剂 烧结烧掉粘合剂一窑炉一干燥一凝胶化 52陶瓷材料的加工524化学加工法 52陶瓷材料的加工5.2.4化学加工法 硅凝胶的形成过程 52.2化学蒸汽渗透法(CVD) Si-OR t H,o OH+ ROH Perforate si-oR+ Ho-Si Si-O-Si-+ ROH Fibrous Si-OH HO-Si Water cooled4 热 压 ： 陶 瓷 热 压 装 置 陶 瓷 材 料 的 加 工 5.2.3 5.2 5.2陶瓷材料的加工 5.2.3 热压 材料 烧结助剂 密度/ (%, 理论) 室温 断裂模量 /MPa 1350°C 断裂模量 /MPa 热压 Si3N4 5% MgO >98 587 173 烧结 Si3N4 5% MgO ~90 483 138 热压 Si3N4 1% MgO >99 952 414 烧结 Si3N4 BeSiN2 + SiO2 >99 560 - 热压 Si3N4 13% Y2O3 >99 897 669 烧结 Si3N4 6% Y2O3 -98 587 414 热压与冷压烧结Si3N4的性能比较 5.2陶瓷材料的加工 5.2.4 化学加工法 陶瓷粉末 粘合剂 分散剂 水 烧结 烧掉粘合剂 窑炉 干燥 凝胶化 注入模具 催化剂 引发剂 混合机 淤浆 5.2.4.1 溶胶凝胶法 5.2陶瓷材料的加工 5.2.4 化学加工法 胶体粒子间的凝聚 OH OH OH OH OH HO HO HO HO HO HO HO HO O O H O H H OH－ OH－ O O H O H H HO HO HO HO HO HO OH OH OH HO HO HO OH OH HO OH OH OH HO OH OH HO HO HO HO HO HO OH OH OH OH OH OH Si(OH)4 5.2陶瓷材料的加工 5.2.4 化学加工法 硅凝胶的形成过程 －Si－OR ＋ H2O － － －Si－OH ＋ ROH － － －Si－OR ＋ HO －Si－ － － －Si－O －Si－ ＋ ROH － － － － － － －Si－OH ＋ HO－Si－ － － －Si－O－Si－ ＋ H2O － － － － － － 5.2陶瓷材料的加工 5.2.4 化学加工法 Water cooled surface Fibrous preform Infiltrated composite Graphite holder Perforated lid Heating element Reactant gases Cold surface Exhaust gas Hot surface Hot zone 5.2.4.2 化学蒸汽渗透法(CVI)