The Types of Photovoltaic Cell 傳統單傳統單/多晶矽太陽電池製程 Source工昕院葉芳鑼 Wire-cut waf 露 單晶矽 (Single Crystalline Si) 3. Texturing 8. Contact form 多晶矽 Multi-Crystalline Si) 4. P-doping 單晶矽太陽電池典型結構例 丰晶矽 屬口 標準太陽電池製程 非晶矽薄膜太陽電池構造 Texture蝕刻 磷擴散 Glass/TCo/p-siC/Si/n-Si/metal TCO/p-siC/i-Swn-Si/metal/IL/SUS 電漿蝕刻 氧化層去除 神一 Forming gas處理 抗反射層製作 Metal Grid 蜩印金屬電極 金屬電極燒结 V電性量测57 The Types of Photovoltaic Cell Source:工研院 葉芳耀 58 傳統單傳統單/多晶矽太陽電池製程 59 標準太陽電池製程 60 非晶矽薄膜太陽電池構造