近代物理实验 物理系黄冠00104035 ③按入真空抽气系统的AR键,30秒后取出样品微动装置,将装有样品的样品架装在样品微动装置 上,并推入样品室 ④按入真空抽气系统的EVAC键,将镜体抽至高真空,待HGH指示灯亮,抽气完成。 3.二次电子相图像观察 ①打开真空抽气系统操作面板上的显示器电源 DISPLAY POWER。检查显示器ⅤEW按钮是否按入 放大倍数钮及 FILAMENT灯丝钮是否左拧到头,工作距离是否合适。 ②设定ACCⅤ OLTAGE加速电压钮在20kV ③将显示器面板上HV处SE二次电子按键按入,并将HV的ON键按入加入高电压。 ④按入 FOCUS MONITOR键,将 FILAMENT灯丝钮逐渐向右拧,使灯丝电流饱和。 ⑤出现图像后,左右转动 GUN ALIGNMENT电子枪钮使其合轴以便得到最亮的图像。当图像太亮时, 可借助左拧衬度 CONTRAST和亮度 BRIGHTNESS钮进行调整。 ⑥转动 FOCUS粗调和细调按钮进行聚焦,并逐步将放大倍数加大,以便得到清晰的扫描图像。 ⑦像质粗糙程度可通过 COND LENS聚光镜钮来调整 4.照相摄影 当在显像管上观察得到清晰的图像,并准备拍照。左拧 CONTRAST和 BRIGHTNESS钮,使其色柱 达到合适数值,即绿灯刚亮。将 PHOTO SPEED调到2(100秒)。按入 PHOTO键曝光照相。 5.关机 先降灯丝电流,关闭高压,然后关闭真空,停机15分钟以后才能关闭冷却水 6.冲洗相片 【思考题】 1.如何能获得清晰的扫描电镜图像? 答:要注意以下几个方面: ①灯丝电流的调节,并不是越大越好,而是要在不超过额定电流的范围内使对比度尽可能大。 操作上可以按入 FOCUS MONITOR键,观察屏幕上的曲线起伏,调 FILAMENT钮使起伏 最大 ②焦距的调整,可以转动 FOCUS粗调和细调按钮进行聚焦。由于高倍放大下图像的细节更多 我们一般都在高倍状态下调节焦距 ③亮度和对比度的调节。虽然图像的对比度高有助于成像的清晰,但由于衬度 CONTRAST和 亮度 BRIGHTNESS调节是彼此互相影响的,并不是把 CONTRAST钮右拧到头就可以获得 最佳的对比度。而是要尽量使亮度和对比度指示二极管处于绿光状态。同时观察屏幕,应 观察到最多细节为宜 2.如何确定照片上图像的放大倍数? 答:拍照时标尺会一起成像在胶片上。以090*2NM为例,表示这段标尺实际对应长度为90*10°nm 用尺子量出标尺的长度,除以90*10m即得实际放大倍数。 【补充问题】 1.我们采用扫描电镜中什么种类工作 答:扫描电镜中主要的信号是二次电子和背散射电子,主要的工作模式是提供样品的二次电子象。 2.为避免样品与极靴相撞,样品装入样品室前应如何操作? 答:为避免样品与极靴相撞,样品装入样品室前用比高计检査样品台的高度近代物理实验 物理系 黄冠 00104035 ③按入真空抽气系统的 AIR 键，30 秒后取出样品微动装置，将装有样品的样品架装在样品微动装置 上，并推入样品室。 ④按入真空抽气系统的 EVAC 键，将镜体抽至高真空，待 HIGH 指示灯亮，抽气完成。 3. 二次电子相图像观察 ①打开真空抽气系统操作面板上的显示器电源 DISPLAY POWER。检查显示器 VIEW 按钮是否按入， 放大倍数钮及 FILAMENT 灯丝钮是否左拧到头，工作距离是否合适。 ②设定 ACC VOLTAGE 加速电压钮在 20kV。 ③将显示器面板上 HV 处 SE 二次电子按键按入，并将 HV 的 ON 键按入加入高电压。 ④按入 FOCUS MONITOR 键，将 FILAMENT 灯丝钮逐渐向右拧，使灯丝电流饱和。 ⑤出现图像后，左右转动 GUN ALIGNMENT 电子枪钮使其合轴以便得到最亮的图像。当图像太亮时, 可借助左拧衬度 CONTRAST 和亮度 BRIGHTNESS 钮进行调整。 ⑥转动 FOCUS 粗调和细调按钮进行聚焦，并逐步将放大倍数加大，以便得到清晰的扫描图像。 ⑦像质粗糙程度可通过 COND LENS 聚光镜钮来调整。 4. 照相摄影 当在显像管上观察得到清晰的图像，并准备拍照。左拧 CONTRAST 和 BRIGHTNESS 钮，使其色柱 达到合适数值，即绿灯刚亮。将 PHOTO SPEED 调到 2(100 秒)。按入 PHOTO 键曝光照相。 5. 关机 先降灯丝电流，关闭高压，然后关闭真空，停机 15 分钟以后才能关闭冷却水。 6. 冲洗相片 【思考题】 1． 如何能获得清晰的扫描电镜图像？ 答：要注意以下几个方面： ① 灯丝电流的调节，并不是越大越好，而是要在不超过额定电流的范围内使对比度尽可能大。 操作上可以按入 FOCUS MONITOR 键，观察屏幕上的曲线起伏，调 FILAMENT 钮使起伏 最大。 ② 焦距的调整，可以转动 FOCUS 粗调和细调按钮进行聚焦。由于高倍放大下图像的细节更多， 我们一般都在高倍状态下调节焦距。 ③ 亮度和对比度的调节。虽然图像的对比度高有助于成像的清晰，但由于衬度 CONTRAST 和 亮度 BRIGHTNESS 调节是彼此互相影响的，并不是把 CONTRAST 钮右拧到头就可以获得 最佳的对比度。而是要尽量使亮度和对比度指示二极管处于绿光状态。同时观察屏幕，应以 观察到最多细节为宜。 2. 如何确定照片上图像的放大倍数？ 答：拍照时标尺会一起成像在胶片上。以 090*2NM为例，表示这段标尺实际对应长度为 90*102 nm。 用尺子量出标尺的长度，除以 90*102 nm即得实际放大倍数。 【补充问题】 1. 我们采用扫描电镜中什么种类工作？ 答：扫描电镜中主要的信号是二次电子和背散射电子，主要的工作模式是提供样品的二次电子象。 2. 为避免样品与极靴相撞，样品装入样品室前应如何操作？ 答：为避免样品与极靴相撞，样品装入样品室前用比高计检查样品台的高度