机械工程导论 第六节电子束加工 电子束加工是 电子发射阴极 近年来得到较大发 控侧播极 展的特种加工方法 加道阳投 在精密微细加工方 囊焦装置 面,尤其是在微电 子学领域中得到较 多的应用。电子束 抽真空 GliT 加工主要用于打孔 偏转装置 焊接等的精加工和 工件 电子束光刻化学加 工作合位移装量机 械 工 程 导 论 第六节 电子束加工 电子束加工是 近年来得到较大发 展的特种加工方法， 在精密微细加工方 面，尤其是在微电 子学领域中得到较 多的应用。电子束 加工主要用于打孔、 焊接等的精加工和 电子束光刻化学加 工