抛光普通的磨片完成过后硅片表面还有 个薄层的表面缺陷。现在的抛光是机 械加化学,经过抛光工艺后使硅片表面 真正达到高度平整、光洁如镜的理想表 面• 抛光 普通的磨片完成过后硅片表面还有 一个薄层的表面缺陷。现在的抛光是机 械加化学，经过抛光工艺后使硅片表面 真正达到高度平整、光洁如镜的理想表 面