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对材料的要求: 由于诸如材料的结构、获得的方法及各自的 作用,加上杂质、缺陷对器件性能的影响,对 他们的要求也不尽相同,对常用的Si、Ge、 GaAs其选用的指标主要有: 导电类型(P型或N型) 2、电阻率 3、少子寿命 4、晶格的完整性(晶体缺陷要求少于一定数 量) 5、纯度高(对要求以外的其它杂质越少越好) 6、晶向(因为晶体的各向异性,所以不同的器 件要求的晶向不同)• 对材料的要求: 由于诸如材料的结构、获得的方法及各自的 作用,加上杂质、缺陷对器件性能的影响,对 他们的要求也不尽相同,对常用的Si、Ge、 GaAs其选用的指标主要有: 1、导电类型(P型或N型) 2、电阻率 3、少子寿命 4、晶格的完整性(晶体缺陷要求少于一定数 量) 5、纯度高(对要求以外的其它杂质越少越好) 6、晶向(因为晶体的各向异性,所以不同的器 件要求的晶向不同)
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