稀薄气体的自由程 Maxwell速率分布、最可几速率、平均速率、均方根速率、平 均自由程、碰撞截面、自由程长度分布律 3.气体流动的流导 碰撞频度、气体流动状态及判据、流导的定义和计算 二、固一气界表面物理现象(学时数:8) 1.吸附和脱附 吸附的机理、吸附速率、脱附速率、物理吸附和化学吸附、吸 气剂原理和分类、吸气剂选择和使用 2.表面谱仪 表面谱仪的工作原理和分类、俄歇现象、表面谱仪俄歇电子谱 仪(AES)、Ⅹ射线光电子谱仪(XPS)、出现电子谱仪(APS) 消隐电势谱仪(DAPS)、场电子显微镜(FEM)、场离子显微 镜(FIM)、低能电子衍射(LEED)等的介绍 真空技术 真空的获得和测量(课时数:16) 真空获得 真空泵的工作原理、分类和工作参数、旋转机械泵、罗茨泵、蒸气 扩散泵、涡轮分子泵、低温泵和热电离真空泵的具体分析、使用方 法和维修,抽气速率的测量 2.真空测量 真空测量的原理、相对测量、绝对测量、真空量度、U型计、麦克3 2. 稀薄气体的自由程 Maxwell 速率分布、最可几速率、平均速率、均方根速率、平 均自由程、碰撞截面、自由程长度分布律 3. 气体流动的流导 碰撞频度、气体流动状态及判据、流导的定义和计算 二、固一气界表面物理现象（学时数：8） 1. 吸附和脱附 吸附的机理、吸附速率、脱附速率、物理吸附和化学吸附、吸 气剂原理和分类、吸气剂选择和使用 2. 表面谱仪 表面谱仪的工作原理和分类、俄歇现象、表面谱仪俄歇电子谱 仪（AES）、X 射线光电子谱仪（XPS）、出现电子谱仪（APS）、 消隐电势谱仪（DAPS）、场电子显微镜（FEM）、场离子显微 镜（FIM）、低能电子衍射（LEED）等的介绍 真空技术 一、真空的获得和测量（课时数：16） 1. 真空获得 真空泵的工作原理、分类和工作参数、旋转机械泵、罗茨泵、蒸气 扩散泵、涡轮分子泵、低温泵和热电离真空泵的具体分析、使用方 法和维修，抽气速率的测量。 2. 真空测量 真空测量的原理、相对测量、绝对测量、真空量度、U 型计、麦克