第7章气做传感器和湿敏传感器 ◆金属氧化物在常温下是绝缘的，制成半导体后 却显示气敏特性。通常器件工作在空气中，空 气中的氧和NO2这样的电子兼容性大的气体， 接受来自半导体材料的电子而吸附负电荷，结 果使N型半导体材料的表面空间电荷层区域的 传导电子减少，使表面电导减小，从而使器件 处于高阻状态。一旦元件与被测还原性气体接 触，就会与吸附的氧起反应，将被氧束缚的电 子释放出来，敏感膜表面电导增加，使元件电 阻减小。第7章 气敏传感器和湿敏传感器 ◆金属氧化物在常温下是绝缘的，制成半导体后 却显示气敏特性。通常器件工作在空气中，空 气中的氧和NO2这样的电子兼容性大的气体， 接受来自半导体材料的电子而吸附负电荷，结 果使N型半导体材料的表面空间电荷层区域的 传导电子减少，使表面电导减小，从而使器件 处于高阻状态。一旦元件与被测还原性气体接 触，就会与吸附的氧起反应，将被氧束缚的电 子释放出来，敏感膜表面电导增加，使元件电 阻减小