824吸附泵 ◆1原理 吸附泵利用吸附材料在低源下吸附真空系统中的 气体的原理进行工作。 这些吸附材料在低温下具有很强的吸附能力,吸 附方式一般有物理吸附、吸收和化学吸附。 2吸附剂 吸附剂种类:活性炭、分子筛 吸附:当冷却到一定温度(如液氮)时,其吸附能力 将比室温下大大提高。 解吸:将吸附泵加热到泵体温度,若要脱水,则 需加热到200-250℃ ◆3低温泵和吸附泵的优缺点 优点: ·不含油蒸汽,可得到极为洁净的真空 由于冷面尺寸不受限制,可得到很大的抽气速率 缺点:要消耗低温液体或要由低温制冷机提供冷量Š 1 原理 – 吸附泵利用吸附材料在低温下吸附真空系统中的 气体的原理进行工作。 – 这些吸附材料在低温下具有很强的吸附能力，吸 附方式一般有物理吸附、吸收和化学吸附。 Š 2 吸附剂 – 吸附剂种类：活性炭、分子筛 – 吸附：当冷却到一定温度(如液氮)时，其吸附能力 将比室温下大大提高。 – 解吸：将吸附泵加热到泵体温度，若要脱水，则 需加热到200~250℃ Š 3 低温泵和吸附泵的优缺点 – 优点： • 不含油蒸汽，可得到极为洁净的真空 • 由于冷面尺寸不受限制，可得到很大的抽气速率 – 缺点：要消耗低温液体 或 要由低温制冷机提供冷量 8.2.4 吸附泵