CN104931654A 权利要求书 1/1页 1.一种用于气体传感器表面的仿生微结构，其特征在于：是由传感器敏感层基底(1)、 凸起的微面(2)和三棱柱状脊(3)组成，其中三棱柱状脊(3)均匀分布在传感器敏感层基 底(1)上，凸起的微面(2)均匀分布在相邻两个三棱柱状脊(3)之间形成的沟槽上，三棱柱 状脊(4)的两个侧面上设置有均匀分布的微孔(3)。 2.根据权利要求1所述的一种用于气体传感器表面的仿生微结构，其特征在于：所述 的凸起的微面(2)的球面半径R的尺寸在10μm-200μm之间，圆柱面高度H与球面半径R 的比值H:R为0.5至2.5。 3.根据权利要求1所述的一种用于气体传感器表面的仿生微结构，其特征在于：所述 的微孔(4)为圆柱孔，半径r的尺寸在1μm-50μm之间，柱面高度h与半径r的比值h:r 为10至20。 4.根据权利要求1所述的一种用于气体传感器表面的仿生微结构，其特征在于：所述 的三棱柱状脊(3)的横截面形状为正三角形，边长a的尺寸在100μm-300μm之间，两个相 邻三棱柱状脊(3)之间的距离在60μm-120μm之间。 2