第八章纳米表面工程 ③ S&三 CH口口L口 F MATER1 ALS SCIENGE& ENGINEERING 2纳米表面工程产生的背景 随着纳米科技的发展,微机电系统的设 矿计、制造日益增多,制造技术以由亚微米层 业 天次进入到原子、分子级的纳米层次。纳米机 器人、纳米钳、纳米电机、……,此类机电 系统涉及到大量的表面科学表面技术问题, 且随着尺寸减小和表面效应的出现,传统的 与的表面设计和加工方法以不再适应 程 学 况6 2 纳米表面工程产生的背景 随着纳米科技的发展，微机电系统的设 计、制造日益增多，制造技术以由亚微米层 次进入到原子、分子级的纳米层次。纳米机 器人、纳米钳、纳米电机、……，此类机电 系统涉及到大量的表面科学表面技术问题， 且随着尺寸减小和表面效应的出现，传统的 的表面设计和加工方法以不再适应。 第八章 纳米表面工程