Vol21 No.3 张旭等：双层辉光离子Ni-Cr-Mo-Nb多元共漫 ·263· 80 100 0.80 (@) 必 (b) (c) Ni/Ni+Cr+Mo+Nb 60 0.60 90 & + 0.40 40 鑫 Cr 如 80 Cr/Ni+Cr+Mo+Nb + Mo G Mo/Ni+Cr+Mo+Nb 20 8 Nb/Ni+Cr+Mo+Nb 70 0.00 士士 0.02.04.06.08.010.0 0.02.04.06.08.010.0 0.0 2.0 4.06.08.010.0 t/h t/h t/h 80 3 3 (④ (e) 图1时间对渗层表面的影响 60 2 (a合金元素含量，(b)合金 总量，（©）合金元素比率 40 1 1 (w/w,i=Ni,Cr,Mo,Nb), 函 (d)渗层厚度，(e)源极失重 20 0 0 和溅射速率. 0 -1 0.0 1.02.03.04.0 2.0 4.0 6.0 8.0 10.0 t hi t/h 30 14 (a) t/h (b) t/h (c) t/h 60 12 20 20 99 0 40 80 40 80 -5 40 80 离表面距离μm 离表面距离/m 离表面距离m 6 120 (d) t/h (e) 80 图2时间对渗层中合金元素含量的影响 40 (a)Ni,(b)Cr,(c)Mo,(d)Nb,(e)Fe 0 0 -50 40 80 -50 40 80 离表面距离μm 离表面距离/m 生相对变化，其规律为N,Cr比率随深度增加 对1000℃共渗时的渗层中各合金元素沿 而增大，而Mo,Nb比率随渗层深度增加而降低 深度分布曲线进行3次回归分析，确定合金元V bL Z I N o . 3 张旭等 : 双层辉光离子 Ni 一 C 卜M o . N b 多元共渗 2 6 3 8 0 10 0 1反面 0 . 80 ( e ) N i了N l 月毛卜M o 十N b 芝 6 0 0 . 6 0 0 . 4 0 0 . 2 0 C r N/ 1 斗C +F M o + N b 冬~ 一叫卜一一` 一一一 , 一一碑 ` 卜、 ~ ~ M O N/ i 十 C叶 M O十 N b 芝哥习山尔链烟巾 908 芝喇睡胡巾 4 0 津沁层盔苦ó` 奔法泥u 2 . 0 4 . 0 6 . 0 8 . 0 一 7 0 匕一一 一上 - - 一习` 一一一杏一 -一 匕 - - 习 0 . 0 0 L止士二亡二` 二上二盆二生= 兰= 1 0 . 0 0 . 0 2 . 0 4 . 0 6 . 0 8 . 0 1 0 . 0 0 . 0 2 . 0 4 . 0 6 . 0 8 . 0 10 . 0 t 小 t 爪 ì ! 200.0 一0 t 几 8 0 图 1 时间对渗层表面 的影响 a( ) 合金元素含量 , (b) 合金 总 量 , (c ) 合 金 元 素 比率 (晰w/ : , 污N i , C r , M o , N b ) , (d ) 渗层厚度 , (e ) 源极失重 和溅射速率 . ǎ 一牟侧à · 并到妙粼暇 一!今妙水侧 60420 侧殴噢烟、如里 一 1 ( e ) + ~ + 一 十 十 一 卜一一刀一一一= ` 一一旧 一 , 一 1 0 . 0 1 . 0 2 . 0 3 . 0 t l口 瓜 ,口 (a) 比 2 . 0 4 . 0 3 0 1 }(b ) 6 . 0 8 . 0 10 . 0 t 小 t/ b ,` 12 巨 卜 t/ h 2 0 R 岁、 兮月 芝。 罗、琴。` 淤 2080460 、求乏, l 0 ) . n ù n ù , l we es es . I J l l l十ù“es卫 ( 一 | ! J 月峥一、ù 一洲l| 4 0 离表面距离 小m 4 0 8 0 离表 面距 离 /脚 0 L 一 5 4 0 8 0 离表面距 离 /脚 120 ( d) t/ h 8 0 图 2 时间对渗层 中合金元素含量 的影晌 ( a ) N i , 伪) C ’r ( e ) M o , (d ) N b , ( e ) F e 芝 .ó , 2 芝惫里 4 0 一 2 lse 占 一 5 0 4 0 8 0 离表面距离 /脚 0 1 - - L 一 5 0 4 0 8 0 离表面距离 /脚 生 相对变化 , 其规律 为 N i , C r 比率随深度增加 而 增大 , 而 M o , N b 比率随渗层深度增加而 降低 . 对 1 0 0 0 ℃ 共渗 时 的渗层 中各合金 元素沿 深度分布 曲线进行 3 次 回归分析 , 确定合金 元