扩散 扩散原理 三个步骤 预淀积 推进 激活 掺杂剂移动 固溶度 横向扩散 扩散工艺 硅片清洗 杂质源 半导体制造技术 by michael Quirk and Julian Serda 电信学院微电子教研室电信学院 微电子教研室 半导体制造技术 by Michael Quirk and Julian Serda 扩 散 • 扩散原理 – 三个步骤 • 预淀积 • 推进 • 激活 – 掺杂剂移动 – 固溶度 – 横向扩散 • 扩散工艺 – 硅片清洗 – 杂质源