1.变极距式电容式传感器的工作原理 在Δd/d0很小时(小于|10时),电容值相对变化量为: C0(1+ △d C0(1+)=C0+△d=C0+△C (△d) d 2 △C≈=0△d 灵敏度为: K. AC C ≈ △dd 》可见,电容的变化ΔC与极板的位移量Δd呈近似线性关糸。 灵敏度是与其初始极距大小和初始电容量相关的近似常数。 tht by