3.磁阻传感器 HMC1021Z型磁阻传感器由长而薄的坡莫合金 (铁镍合金)制成一维磁阻微电路集成芯片。它利 用通常的半导体工艺，将铁镍合金薄膜附着在硅 片上如图所示。 U6偏置磁场 铝合金带 外加避场 外加避场 坡莫合金意膜3.磁阻传感器 • HMC1021Z型磁阻传感器由长而薄的坡莫合金 (铁镍合金)制成一维磁阻微电路集成芯片。它利 用通常的半导体工艺，将铁镍合金薄膜附着在硅 片上如图所示