四XPS的仪器 Instrumentation for XPs 1激发光源—X射线(软X射线;MgKa:hv=1253.6eV ;AIKa:h=14866eV)或UV 2电子能量分析器-对应上述能量的分析器,只可能是表 面分析; 3高真空系统:超高真空腔室 super- high vacuum chamber(UHV避免光电子与气体分子碰撞的干扰。1激发光源——X射线（软X射线；Mg Kα : hv = 1253.6 eV ；Al Kα : hv = 1486.6 eV）或UV； 2电子能量分析器-对应上述能量的分析器，只可能是表 面分析； 3高真空系统：超高真空腔室super-high vacuum chamber（ UHV避免光电子与气体分子碰撞的干扰。 四 XPS的仪器Instrumentation for XPS