实例】基于固相扩散的半导体掺杂 ■本征半导体——掺杂半导体-施主、受主 排气 晶圆 热丝 掺杂气体 掺杂物源(含有掺杂物质的玻璃) 不纯物元素 热丝 石英玻璃 热扩散装 扩散层 S单结晶◼ 【实例】基于固相扩散的半导体掺杂 ◼ 本征半导体——掺杂半导体-施主、受主