硅靶 信号板：硅靶摄象管窗口玻璃内表面涂有层很薄的既可透 光也可导电的金属膜，在它上面接有引线可同负载相连。 N型硅片 硅片朝着电子枪一边的表面，先生成一层氧化层($O2), 接着利用光刻技术在$O2上光刻成几十万个小孔，再通过 掺杂使每个小孔都变成P-Si。 许多个小的P-S被SO,隔离，称为P型岛 每个P型岛与N型衬底之间即形成一个PN结（光电三 极管)。最后再在$O,和P型岛表面上蒸涂上一层电阻率适 当的彩料，即成为硅靶。2022/10/7 5 每个P型岛与N型衬底之间即形成一个PN结(光电二 极管)。最后再在SiO2和P型岛表面上蒸涂上一层电阻率适 当的材料，即成为硅靶。 信号板:硅靶摄象管窗口玻璃内表面涂有一层很薄的既可透 光也可导电的金属膜，在它上面接有引线可同负载相连。 N型硅片 硅片朝着电子枪一边的表面，先生成一层氧化层(SiO2 )， 接着利用光刻技术在SiO2上光刻成几十万个小孔，再通过 掺杂使每个小孔都变成P-Si。 许多个小的P-Si被SiO2隔离，称为P型岛 硅靶