薄膜沉积过程简 ■薄膜有特有的组织形态 ■其生长过程也可被分为两个阶段:新相的形核 薄膜的生长 形核:气态原子、分子在衬底表面开始凝聚 ◆形成一些细小、可运动的原子团 66 ◆小岛不断接受新的原子,合并而长大 ◆新的表面又会形成新的小岛 ◆这一合并的过程达到数十纳米的时候才告结束 ◆孤立的小岛相互连接成片,只留下一些孤立的 孔洞和沟道薄膜沉积过程简介 ◼ 薄膜有特有的组织形态 ◼ 其生长过程也可被分为两个阶段：新相的形核 、薄膜的生长 形核：气态原子、分子在衬底表面开始凝聚 ◆ 形成一些细小、可运动的原子团 ⎯⎯ “岛” ◆ 小岛不断接受新的原子，合并而长大 ◆ 新的表面又会形成新的小岛 ◆ 这一合并的过程达到数十纳米的时候才告结束 ◆ 孤立的小岛相互连接成片，只留下一些孤立的 孔洞和沟道