三、质量光谱学与固体表面分析 固体表面分析 固体表面的成分和结构，可以用极细的电子、离子、光或X射线的 束流，入射到物质表面，对表面发出的电子、离子、X射线等进行测 定来分析。这种技术在半导体工业领域被用于半导体的检查中，如缺 陷、表面分析、吸附等。电子、离子、X射线一般采用电子倍增器或 MCP来测定。 2022/10/7 92022/10/7 9 三、质量光谱学与固体表面分析 固体表面分析 固体表面的成分和结构，可以用极细的电子、离子、光或X射线的 束流，入射到物质表面，对表面发出的电子、离子、X射线等进行测 定来分析。这种技术在半导体工业领域被用于半导体的检查中，如缺 陷、表面分析、吸附等。电子、离子、X射线一般采用电子倍增器或 MCP来测定