「國超警勿的视备 B。精密和超精密机床发展概况及典型机床简介 38精密主轴部件 B8床身和精密导轨部件 04进给驱动系统 36量进给裝置 8③机床运动部件位移的激光在线检测系统 B7机床的稳定性和减振隔振 3③减少变形和恒温控制 2021/2/212021/2/21 3.1 精密和超精密机床发展概况及典型机床简介 3.2 精密主轴部件 3.3 床身和精密导轨部件 3.4 进给驱动系统 3.5 微量进给装置 3.6 机床运动部件位移的激光在线检测系统 3.7 机床的稳定性和减振隔振 3.8 减少变形和恒温控制 第4章 精密和超精密加工的机床设备