MOSFET: An Example Si 介质(SiN) Al 介质(SiO2) 多晶硅 SiO SiO Sio n 源区 漏区 场氧化 栅氧化层 多晶硅栅 p-Si MOSFET 图11.1 MOSFET的剖面图MOSFET: An Example