3.1.7等离子体合成 等离子体合成是利用等离子体的特殊性质进行化学合成的 一种技术。 在高温下，部分气态粒子发生电离，当电离部分超过一定 限度(>0.1%)，则成为一种导电率很高的流体，这种流体与一般 固态、液态、气态完全不同，被称为物质第四态。由于其中负电 荷总数等于正电荷总数，宏观上仍呈电中性，所以称为等离子体。 等离子体分高压平衡等离子体（或称热等离子体或高温等离 子体)和低压非平衡等离子体（或称冷等离子体或低温等离子体）。 热等离子体的获得有高强度电弧、射频放电、等离子体喷焰及等 离子体炬。冷等离子体主要依靠低压放电获得，包括低强度电弧、 辉光放电、射频放电和微波诱导放电等，目前应用较多的低温等 离子体是微波等离子体。 热等离子体适用于金属及合金的治炼，超细、耐高温材料 的合成，制备金属超微粒子，用于NO,和CO的生产等。 低温等离子体用于氨、O3的合成，化学气相沉积MPCVD) 制备太阳能电池薄膜，高T超导薄膜及光导纤维等。 3.1.7 等离子体合成 等离子体合成是利用等离子体的特殊性质进行化学合成的 一种技术。 在高温下，部分气态粒子发生电离，当电离部分超过一定 限度(＞0.1％)，则成为一种导电率很高的流体，这种流体与一般 固态、液态、气态完全不同，被称为物质第四态。由于其中负电 荷总数等于正电荷总数，宏观上仍呈电中性，所以称为等离子体。 等离子体分高压平衡等离子体(或称热等离子体或高温等离 子体)和低压非平衡等离子体(或称冷等离子体或低温等离子体)。 热等离子体的获得有高强度电弧、射频放电、等离子体喷焰及等 离子体炬。冷等离子体主要依靠低压放电获得，包括低强度电弧、 辉光放电、射频放电和微波诱导放电等，目前应用较多的低温等 离子体是微波等离子体。 热等离子体适用于金属及合金的冶炼，超细、耐高温材料 的合成，制备金属超微粒子，用于NO2和CO的生产等。 低温等离子体用于氨、O3的合成，化学气相沉积(MPCVD) 制备太阳能电池薄膜，高Tc超导薄膜及光导纤维等