氨化镍 45g/1 pH 34.5 硼酸 38g/1 阴极电流密度 2.55.0A/dm2 A1203(粒度<2μm) 30g/1 1.3单因素(颗粒浓度和电流密度)对复合镀层中颗粒共析量的影响 固定其他工艺参数不变,分别考察镀液中A12O3浓度和阴极电流密度对复合镀层中 颗粒共析量的影响。 <1>pH=5.4D.=4A/dm2T=45℃ 镀液中A12O3浓度分别控制在20、30、40、和50g/八,在各自条件下电镀5min。 <2>pH=5.4T=45℃,镀液中A12O,颗粒浓度C=30g/1,Dk分别选为1、 2、3A/dm2,在不同电流密度下分别电镀5min。 用Q一900图象分析仪作定量金相分析。 1.4最佳镀金工艺参数的选择 对5种不同的镀金液中获得的镀层的性能进行了综合比较,选择其中较好的酸性配 方。在此基础上进行正交设计,确定脉冲电镀的最佳工艺参数。选择的酸性镀金液配方为: 氰金化钾 15g/1, 柠檬酸钾 150g/13 柠檬酸 55g/1。 D:、pH、T和脉冲电镀时空比由正交试验结果确定。 1.5镀层性能试验 对于暗镍底层和镀金层进行了有关的性能检验,复合镀正交试验主要以镀层脆性作 为判据。 镀层性能测试包括孔隙率、结合力、脆性、厚度检验和形貌观察。 1.6微孔金镀层体系的耐蚀性检验 (1)用M一351腐蚀测量系统测定微孔镀金样品和某厂镀金样品在3.5%NaC1': 液中的极化曲线。 (2)将微孔镀金的品体管和工厂提供的“高可靠”产品同时进行盐雾条件下的应 力腐蚀试验(12),比较晶体管的惭腿惰况。 2实验结果和讨论 2.1暗德工艺条件的确定 根据镀层质显检验结果最后确定的工艺参数如下: 硫酸镍 20Gg/1 氯化钠 10g/1 硫酸镁 40g/八 D. 1.5A/dm2 硼酸 40g/1 入 室温 12烷基硫酸钠 0.02g/1 机械搅拌 由电沉积速度曲线可知,采用上述工艺参数镀复6um厚的暗镍需要40min。 2.2复合镀层实验结果 236氯化镍 硼 酸 阴极电流密度 也 粒度 拌 单因素 颗粒浓度和电流密度 对复合镶层 中颗粒共析量的影响 固定 其他工 艺参数不 变 , 分别考察镀液 中 ,浓度和 阴极电流密度对复合镀层 中 颗粒共析量 的影响 。 “ 二 ℃ 镀液 中 浓度 分别控制 在 、 、 、 和 , 在各 自条件下 电镀 。 二 二 ℃ , 镀液 中 颗粒浓度 二 , 刀 分别选为 、 么 、 “ , 在不 同 电流密度下 分别电镀 。 用 一 图象分析仪作定量金相分析 。 最佳镀金工艺参数的选择 对 种不 同的镀金 液 中获得的镀层的性能进行 了综合 比较 , 选择其中较好的酸性配 方 。 在此基础 上进行 正交设计 , 确定脉 冲 电镀 的最佳工 艺参数 。 选择的 酸性镀金液配方为 氰金 化钾 , 柠檬酸钾 , 柠檬酸 口 、 、 和脉 冲 电镀时空 比 由正交试验结果确 定 。 镀层性能试验 对于暗镍 底层和镀金层进行 了有关的性能检验 , 复合镀正交试验主要 以镀层 脆性作 为 判据 。 镀层性能测 试包括孔 隙率 、 结合力 、 脆性 、 厚 度检验和形貌 观察 。 微 孔金镀层体系 的耐蚀 性检验 用 一 腐蚀测 量系统测 定微 孔镀 金 样品和 某厂镀金 样品 在 ’ 液 中的 极化 曲线 。 将微孔镀金 的 晶体管和工厂提 供的 “ 高可靠 ” 产品 同时进行盐雾 条件下 的 应 力腐蚀试验〔 “ 〕, 比较 晶体管角 断 腿情况 。 实验结果和讨论 暗镇工艺条件的 确定 根据镀 层质量检验 结果最后确定 的工 艺 参数 如下 硫酸镍 氯化钠 硫 酸镁 ‘ 湖 酸 室温 烷基硫 酸钠 八 机械搅拌 由电沉积这 度 曲线 可知 , 采用 上述 工艺参数镀复 “ 厚的暗镍需要 。 复合 镀层实验结 果