维普资讯http://www.cqvip.com 2008年8月 机械科学与技术 第27卷第8期 Mechanical Science and Technology for Aerospace Engineering Vol 27 No 8 超声电解复合微细加工装置与试验研究 朱永伟,王占和,云乃彰2 (扬州大学机械工程学院扬州22501;2南京航空航天大学机电学院南京210016) 朱永伟 摘要:分析微细电解复合超声频振动加工过程机理,提出一种微细加工新方法--超声电解复合 微细加工;设计、构造并完善复合微细加工装置;研究微细阴极制作工艺,利用微细组合电加工技术 制作各类截面形状的微细阴极;进行超声电解复合微细加工试验,验证微细电解复合超声频振动实 现微细加工的可行性及其在加工速度、精度、表面质量等方面的技术优势,探讨超声电解复合微细 加工制作微结构的工艺规律。 关键词:电解加工;超声振动;复合微细加工;微细加工系统 中图分类号:TG662 文献标识码:A 文章编号:10038728(2008)08098606 An ECM Combined Ultrasonic Vibrating Micro-machining Device and Its Test study Zhu Yongwei, Wang Zhanhe, Yun Naizhang College of Mechanical and Electrical Engineering, Nanjing University of Aeronautics and Astronautics, Nanjing 210016) Abstract: The micro-machining mechanism and characteristics of ECM (electrochemical machining)combined ul trasonic vibrating are analyzed. A new micro-machining technology-ECM combined ultrasonic vibrating micro- machining process is advanced. The micro-machining system is designed and built. Micro-cathodes manufacturing technology is studied. The cathodes that have different section shapes are made by electro-discharge micro-machi ning. A series of micro-machining tests are carried out for manufacturing micro-instruments. The feasibility and the advantages of the technology are proved. The micro-instruments with good machining precision, productivity and surface quality are manufactured. The process characteristics of the combined micro-machining are discussed Key words: electrochemical machining; ultrasonic vibrating; combined micro-machining; micro-machining system 基于电化学阳极溶解原理的电解加工在微细加较难控制;另外,为了提高电解液的电导率,常采用 工中的应用还局限于少数场合,还远没有发挥其具有一定腐蚀性的高浓度电解液,对设备、环境保护 离子”方式去除材料的机理优势。原因在于:为了及零件性能均可能造成影响,限制了电解加工在微 避免钝化及提高加工速度,须采用大电流密度高流精加工领域的研究应用。电解加工机理为“离子 速电解液进行高速加工,由于加工间隙中电场、流场式溶解,具有表面无变质层及残余应力生产效率高 复杂多变及电解液的杂散腐蚀,加工间隙一致性难及阴极无损耗等优点。其它特种加工方法难以兼 以精确保证,材料去除定域性差使电解加工的精度备,因此有必要采取有效措施,充分发据电解加工机 理优势,开拓其在微精加工领域的应用空间1-3。 收稿日期:2008-02-18 基金项目:国家自然科学基金项目(50675192),中国博士后基金项 本文探索将微电流电解与超声频振动有机结 目(2003038)832007年江苏省研究生创新计划项目合,在保持电解技术优势的同时,克服其局限性,充 cX07s022x)资助 分提高去除材料的定域性及微细化水平,为导电性 作者筒介朱水伟(1966),副数投,博士,研究方向为特种加工机难加工材料的微细加工研究一种有效方法。 电控制,yzyw@yacn,ne维普资讯 http://www.cqvip.com