点击下载：电子科技大学：《薄膜晶体管原理与技术 The Principle and Technology of Thin Film Transistor》课程教学资源（课件讲稿）第2章 薄膜技术（陈文彬）
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2.1真空热蒸发镀膜技术 2.1.1 真空热蒸发镀膜的原理 2.1.2 真空热蒸发镀膜的方式及特点2.1 真空热蒸发镀膜技术 2.1.1 真空热蒸发镀膜的原理 2.1.2 真空热蒸发镀膜的方式及特点
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