可做综合分析。 ·SEM装上波长色散X射线谱仪(wDX)(简称波谱仪) 或能量色散X射线谱仪(EDX)(简称能谱仪)后, 在观察扫描形貌图像的同时,可对试样微区进行 元素分析。 装上半导体样品座附件,可以直接观察晶体管或 集成电路的p-n结及器件失效部位的情况。 装上不同类型的试样台和检测器可以直接观察处 于不同环境(加热、冷却、拉伸等)中的试样显 微结构形态的动态变化过程(动态观察)特点 • 可做综合分析。 • SEM装上波长色散X射线谱仪（WDX）（简称波谱仪） 或能量色散X射线谱仪（EDX）（简称能谱仪）后， 在观察扫描形貌图像的同时，可对试样微区进行 元素分析。 • 装上半导体样品座附件，可以直接观察晶体管或 集成电路的p-n结及器件失效部位的情况。 • 装上不同类型的试样台和检测器可以直接观察处 于不同环境（加热、冷却、拉伸等）中的试样显 微结构形态的动态变化过程（动态观察）