忘電子工出版社 2.变极距型电容传感器 初始电容C=d E8 S 若极距缩小△d △d C=Co+Ac EE,S C0(1+ d-△d 非线性关系 d 若△dd<<1时,则式(3.3.3)可简化为 C=CCAd最大位移应小于间距的10 d差动式改善其非线性2. 变极距型电容传感器 d s C r  0 0 = 2 0 0 0 0 1 (1 ) 1        −  + =  − = −  = +  = d d d d C d d C d d s C C C r   非线性关系 若△d/d<<1时，则式（3.3.3）可简化为 d d C C C  = 0 + 0 若极距缩小△d 最大位移应小于间距的1/10 差动式改善其非线性 初始电容 返 回 上一页 下一页