与抽气时间有关的因素 渗透 内漏 实漏 容器体积 虚漏 放气 虚漏举例 扩散 返流 “漏”的概念 死空间 带放气孔的螺钉 由于泄漏而进入系统的质量流量以符号m: ①实际漏孔： ②系统中的捕集气体以及潜伏的气袋的气体释放所表现出的虚假漏孔： ③金属壁面或密封原料的“放气”一任何材料当被暴露于真空时，其表面和其内 部或两者同时都可能释放气体。“漏”的概念 死空间 带放气孔的螺钉 虚漏举例 与抽气时间有关的因素 容器体积 ①实际漏孔； ②系统中的捕集气体以及潜伏的气袋的气体释放所表现出的虚假漏孔； ③金属壁面或密封原料的“放气”—任何材料当被暴露于真空时，其表面和其内 部或两者同时都可能释放气体。 由于泄漏而进入系统的质量流量以符号ml：