「线度08国度种的频 直线度的测量 1线差法 线差法的实质是:用模拟法建立理想直线,然后把被测实 际线上各被测点与理想直线上相应的点相比较,以确定实际 线各点的偏差值,最后通过数据处理求出直线度误差值 1)干涉法 对于小尺寸精密表面的直线度误差 把平晶置于被测表面上,在单色光 的照射下,两者之间形成等厚干涉 条纹,然后读出条纹弯曲度a及相 邻两条纹的间距b值,被测表面的 直线度误差为。总“向外弯 等厚干涉条纹 表面是凸的,反之,则表面是凹的 2021/2/212021/2/21 第4节 直线度、平面度和垂直度的测量 一、直线度的测量 1.线差法 线差法的实质是：用模拟法建立理想直线，然后把被测实 际线上各被测点与理想直线上相应的点相比较，以确定实际 线各点的偏差值，最后通过数据处理求出直线度误差值。 1）干涉法 等厚干涉条纹 对于小尺寸精密表面的直线度误差。 把平晶置于被测表面上，在单色光 的照射下，两者之间形成等厚干涉 条纹，然后读出条纹弯曲度a及相 邻两条纹的间距b值，被测表面的 直线度误差为 。条纹向外弯， 表面是凸的，反之，则表面是凹的。 2   b a