10 5.1超純水生產流程-I 過濾:如多層過濾、活性碳過濾、一般 濾芯過濾、絕對濾芯過濾等。 ·脫氣:去除餘氯、去除水中嗅味等。 紫外線光滅菌:利用254nm的紫外線光, 來破壞細菌的DNA抑制繁殖,一般而言, 其去除率可達到99.9%以上 加藥處理:加鹼去除水中二氧化碳等 ·逆滲透:採單段或二段式,有效去除離 子、細菌、有機物、膠體等 公TDK10 5.1 超純水生産流程 -- I • 過濾：如多層過濾、活性 碳過濾、一般 濾芯過濾、絕對濾芯過濾等。 • 脫氣：去除餘氯、去除水中嗅味等。 • 紫外線光滅菌：利用254nm的紫外線光， 來破壞細菌的DNA抑制繁殖，一般而言， 其去除率可達到99.9%以上。 • 加藥處理：加鹼去除水中二氧化碳等。 • 逆滲透：採單段或二段式，有效去除離 子、細菌、有機物、膠體等