4.1岛状薄膜的电导 岛状薄膜导电性质的特点： ① 电阻率非常大； ② 电阻率温度系数为负值（刚性基板）； ③ 在低电场时呈现欧姆性质导电，在高电场时呈现非欧姆性质导电， 见图4-3； ④ 导电电子激活能较大，随膜厚减小激活能上升； ⑤ 电阻应变系数较大； ⑥ 薄膜沉积后的经时（随时间）变化大； ⑦ 因吸附各种气体，电阻率随温度有可逆和不可逆变化；4.1 岛状薄膜的电导 ① 电阻率非常大； ② 电阻率温度系数αF为负值（刚性基板）； ③ 在低电场时呈现欧姆性质导电，在高电场时呈现非欧姆性质导电， 见图4-3； ④ 导电电子激活能较大,随膜厚减小激活能上升； ⑤ 电阻应变系数较大； ⑥ 薄膜沉积后的经时（随时间）变化大； ⑦ 因吸附各种气体，电阻率随温度有可逆和不可逆变化； 岛状薄膜导电性质的特点： 0 0 0 0 1 1 R R R TCR R T T R T             