美国)联邦标准209E 洁净室与结净区的空气颗粒洁净等级 100000 0000 颗粒尺寸(微米) 洁净等级是指平方英尺中粒尺寸等于或大于图中所示颗粒尺寸 ●图中厮示沽净等级所指颗粒含量只用于等级定义,并不代表任何特定环境下 的尺寸分布