(8)作为单体的二酐和二胺在高真 空下容易升华,因此容易利用气相 沉积法在工件,特别是表面凹凸不 平的器件上形成聚酰亚胺薄膜。(8) 作为单体的二酐和二胺在高真 空下容易升华，因此容易利用气相 沉积法在工件，特别是表面凹凸不 平的器件上形成聚酰亚胺薄膜