3.1.1金属氧化物半导体传感器 金属氧化物半导体传感器是目前应用最广泛的气敏传感器之一。最常见的材料 有锡、锌、钛、钨和铱的氧化物，并掺入铂(Pt)和钯(Pd)等贵金属催化剂。 1.工作原理： 其需要在200~400℃的温度下工作，当气体吸附于半导体表面时，引起半导体 材料的总电导率发生变化，使得传感器的阻值随气体的浓度的改变而变化，进而产 生相应的响应值，其灵敏度约在(5~500)×106。 2.分类： >表面电阻控制型（如SnO2系列和ZnO系列） >体电阻控制型（如Fe203系列） >非电阻型（如MOSFET系列） 3.1.1 金属氧化物半导体传感器 金属氧化物半导体传感器是目前应用最广泛的气敏传感器之一 。最常见的材料 有锡、锌、钛、钨和铱的氧化物，并掺入铂（Pt）和钯（Pd）等贵金属催化剂。 1.工作原理： 其需要在200～400℃的温度下工作 ，当气体吸附于半导体表面时，引起半导体 材料的总电导率发生变化，使得传感器的阻值随气体的浓度的改变而变化，进而产 生相应的响应值，其灵敏度约在(5～500)×10-6 。 2.分类： ➢表面电阻控制型（如SnO2系列和ZnO系列） ➢体电阻控制型(如Fe2O3系列) ➢非电阻型（如MOSFET系列）