3、极距变化型 C- Es 特点:非线性,C≠(x)是一个双曲线函数 但容抗κf(x)呈线性关系 可测量微米级的位移,一般d<10mm, 最大位移限制在<03、极距变化型： d0 x d x s C d S C x − = = 0 0   特点：非线性，C =f（x）是一个双曲线函数 但容抗xc =f（x）呈线性关系 可测量微米级的位移，一般d<10mm， 最大位移限制在< d/10