位置检测装置的精度指标主要包括：系统精 度和系统分辨率。 系统精度：是指在某单位长度或角度内的最大累 积测量误差。目前直线位移的测量精度可达 ±0.001mm/m,角位移的测量精度可达 ±10”/360°。 系统分辨率：是指位置检测装置能够正确检测的 最小位移量。目前直线位移的分辨率可达 0.001mm,角位移的分辨率可达2”。 位置检测装置的精度指标主要包括：系统精 度和系统分辨率。 系统精度：是指在某单位长度或角度内的最大累 积测量误差。目前直线位移的测量精度可达 ±0.001mm/m，角位移的测量精度可达 ±10’’/360o 。 系统分辨率：是指位置检测装置能够正确检测的 最小位移量。目前直线位移的分辨率可达 0.001mm，角位移的分辨率可达2’’