511、数据采集-全扫描谱( Survey scan) 对于一个化学成分未知的样品,首先应作全扫描 谱,以初步判定表面的化学成分。在作XPS分析时, 全扫描谱能量范围一般取0~1200eV,因为几乎所 有元素的最强峰都在这一范围之内 通过样品的全扫描谱,在一次测量中我们就可检 出全部或大部分元素。 由于各种元素都有其特征的电子结合能,因此在 能谱中有它们各自对应的特征谱线。所以可根据 这些谱线在能谱图中的位置即可鉴定元素种类。 ◎中国荤术大 University of seienee and Technology ot china5.1.1、数据采集-全扫描谱(Survey scan)  对于一个化学成分未知的样品，首先应作全扫描 谱，以初步判定表面的化学成分。在作XPS分析时， 全扫描谱能量范围一般取01200eV，因为几乎所 有元素的最强峰都在这一范围之内。  通过样品的全扫描谱，在一次测量中我们就可检 出全部或大部分元素。  由于各种元素都有其特征的电子结合能，因此在 能谱中有它们各自对应的特征谱线。所以可根据 这些谱线在能谱图中的位置即可鉴定元素种类