、概述 基于谐振技术的谐振式传感器,自身为周期 信号输出(准数字信号),只用简单的数字电路 即可转换为微处理器容易接受的数字信号。分为 两类:基于机械谐振结构谐振式传感器和MQS环 振式谐振传感器。本课主要介绍基于机械谐振结。 构的谐振式传感器。它们可以利用振动频率相0 位和幅值作为敏感信息的参数。 01001一、概述 基于谐振技术的谐振式传感器，自身为周期 信号输出（准数字信号），只用简单的数字电路 即可转换为微处理器容易接受的数字信号。分为 两类：基于机械谐振结构谐振式传感器和MOS环 振式谐振传感器。本课主要介绍基于机械谐振结 构的谐振式传感器。它们可以利用振动频率、相 位和幅值作为敏感信息的参数